制备类金刚石薄膜的装置 _专利

制备类金刚石薄膜的装置

关键词制备 , 类金刚石 , 薄膜 , 装置 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称制备类金刚石薄膜的装置公开号1266107公开日2000.09.13主分类号C23C14/06

名称	制备类金刚石薄膜的装置
公开号	1266107	公开日	2000.09.13
主分类号	C23C14/06	分类号	C23C14/06;C23C14/22
申请号	00111881.1
分案原申请号		申请日	2000.03.03
颁证日		优先权
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	地址	201800上海市800－211邮政信箱
发明人	楼祺洪; 黄峰; 李铁军; 董景星; 魏运荣	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	上海华东专利事务所	代理人	李兰英
摘要	一种制备类金刚石薄膜的装置，包括壁上带有两个透光窗口的真空室，真空室内置有靶材和待沉积薄膜基底。置于真空室外有用激光器作为光源发射光束经过分束镜分成两束光，一束为消融沉积光束经第一聚焦透镜透过第一透光窗口会聚到真空室内的靶材上。一束为扫描光束经反射镜，第二聚焦透镜，旋转反射镜透过第二透光窗口会聚到真空室内的基底上。具有结构简单，易于操作，获得的薄膜质量优良，均匀而牢固。

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