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　　申请号：201610866336.5
　　申请人：昆山美淼环保科技有限公司
　　发明人：刘雅妮 左卫雄

　　摘要：一种CVD法制备大面积BDD电极的预处理方法。CVD法是制备金刚石电极的通用方法，制备出大面积金刚石电极的关键是预处理，即在基材表面形成大量、均匀的孔，进一步在孔内种植大量、均匀的金刚石晶种。本发明的合金电镀法是基材表面形成大量、均匀的孔的良好方法。将基材钛或铌作为阴极，钛或铌的氯化物与氯化铁的混合物作为电镀液，进行电镀处理，钛或铌与铁的合金镀在阴极表面后，阴极取出，用盐酸浸泡，以溶解出合金中的铁，溶出铁后，阴极表面留下均匀的孔。

　　主权利要求：1.将基材钛或铌作为阴极，钛或铌的氯化物与氯化铁的混合物作为电镀液，进行电镀处理，钛或铌与铁的合金镀在阴极表面后，阴极取出，用盐酸浸泡，以溶解出合金中的铁，溶出铁后，阴极表面留下均匀的孔，在孔内种植金刚石的微晶后，即可作为CVD法制备大面积BDD电极的基材。
　　2.如权利要求1所述的电镀工艺，阴极镀层的厚度为2~20微米，优选为6~12微米。
　　3.如权利要求1所述的电镀工艺，铁盐与钛盐或铌盐的比例用于控制基材表面的孔的大小，其摩尔比例为1：3~30，优选为1：5~10。
　　4.如权利要求1所述的电镀工艺，电流密度50~300安/平米，优选为80~120安/平米。
　　5.如权利要求1所述的方法，盐酸侵泡的温度在50~60摄氏度，盐酸浓度不低于1%，浸泡时间不低于5小时。