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　　申请号：201410138529.X

　　申请人：上海交通大学 上海交友钻石涂层有限公司 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司

　　摘要：本发明公开了一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法；以热丝CVD装置为沉积设备，在传统的氢气与丙酮反应体系中加中含硼及含氮化合物，形成共掺杂体系，调节反应工艺参数，制备出纳米金刚石颗粒与定向金刚石颗粒共存的薄膜。该方法工艺流程简单，获得的薄膜具有比随机取向微米级金刚石薄膜平整的表面，耐磨损性高且均一，易抛光、内应力低以及膜基附着力高等特点。

　　主权利要求：1.一种硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将预处理过的基体材料置于热丝CVD设备中，采用了硼氮共掺杂沉积工艺，在0.5kPa～1.5kPa的反应气压以及850～1000℃的基体温度下沉积，即可获得所述硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜。

　　2.根据权利要求1所述的硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法，其特征在 于，所述的硼氮共掺杂沉积工艺为在所述热丝CVD设备的反应室内通入氢气以及碳源 气体作为反应气体，所述的碳源气体掺杂有B及N原子，其中掺杂比例为：硼碳原子 个数比为0.03％～0.08％；氮与碳的原子个数比为0.05％～0.15％。

　　3.根据权利要求2所述的硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法，其特征在 于，所述碳源为丙酮、或者丙酮与甲醇的混合物。

　　4.根据权利要求2所述的硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法，其特征在 于，所述B原子由硼化合物获得，所述N原子由氮化合物获得。

　　5.根据权利要求4所述的硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法，其特征在 于，所述硼化合物为硼酸三甲酯。

　　6.根据权利要求4所述的硼氮共掺纳米基定向金刚石薄膜的制备方法，其特征在 于，所述氮化合物为尿素。