行波管用的金刚石杆的制备方法 _专利

行波管用的金刚石杆的制备方法

关键词金刚石杆 , 制备|2010-12-22 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称行波管用的金刚石杆的制备方法公开号1373492公开日2002.10.09主分类号H01J9/00

名称	行波管用的金刚石杆的制备方法
公开号	1373492	公开日	2002.10.09
主分类号	H01J9/00	分类号	H01J9/00;H01J23/00
申请号	02116694.3
分案原申请号		申请日	2002.04.16
颁证日		优先权
申请人	北京工业大学	地址	100022北京市朝阳区平乐园100号
发明人	陈光华;张阳	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	北京工大思海专利代理有限责任公司	代理人	张慧
摘要	一种行波管用的金刚石杆的制备方法属于微波技术领域。该方法的特征在于：在的Al#-[2]O#-[3]杆上放置与其同厚的相同尺寸的Cu片，再放置于Al#-[2]O#-[3]衬底座上，在750～850℃温度下使前二者焊接在一起；将此衬底座H#-[2]等离子体中清洗5－10min，微波功率300－400W，H#-[2]流量40－60sccm。金刚石成核条件：将微波功率提高至650W，CH#-[4]/H#-[2](体积比)＝20％，总流量200sccm，反应压力40乇，时间1h，射频偏压－100～－180V。金刚石生长条件：CH#-[4]/H#-[2](体积比) ＝4％，微波功率600

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