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在刀具上沉积细粒氧化铝涂层的方法

关键词 氧化铝 , 刀具|2010-12-22 00:00:00|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要 名称在刀具上沉积细粒氧化铝涂层的方法公开号1280632公开日2001.01.17主分类号C23C16/40&nbs

 

名称 刀具上沉积细粒氧化铝涂层的方法 
公开号 1280632  公开日 2001.01.17   
主分类号 C23C16/40  分类号 C23C16/40 
申请号 98811569.7   
分案原申请号   申请日 1998.11.26   
颁证日   优先权 1997.11.26 SE 9704387-1 
申请人 桑德维克公司    地址 瑞典桑德维肯  
发明人 克里斯蒂娜·特施纳;因戈尔夫·恩德勒;阿尔布雷克特·  国际申请  
国际公布   进入国家日期  
专利代理机构 永新专利商标代理有限公司    代理人 甘玲   
摘要   本发明涉及一种在由烧结硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或高速钢构成的刀具上沉积耐火氧化铝(Al#-[2]O#-[3])薄涂层的方法。本发明的方法是等离子体化学气相沉积(PACVD)法,其中等离子体由加在两个电极上的双极脉冲直流电压产生的,并在将待涂覆的基材固定在电极上且为电连接。与现有方法相比,该方法抑制了绝缘表面上电荷的积累,因此在所述表面上不产生电弧,从而使反应平稳、长期进行。在本发明方法中,由单相Y-Al#-[2]O#-[3]或γ-和α-Al#-[2]O#-[3]相混合物组成的涂层可在低至500℃的沉积温度下沉积在刀具上。当将本发明的涂覆有烧结硬质合金刀具用于加工钢或铸铁时,与现有技术制成的涂覆Al#-[2]O#-[3]刀具相比,可以观察到一些重要改进。      
 

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