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光智科技取得制备多晶金刚石膜沉积台专利,有效避免微波放电“边沿效应”影响

关键词 光智科技 , 多晶金刚石膜沉积台 , 专利|2025-03-21 08:41:25|行业专利|来源 金融界
摘要 金融界2025年3月20日消息,国家知识产权局信息显示,安徽光智科技有限公司取得一项名为“种用于制备多晶金刚石膜的沉积台”的专利,授权公告号CN222631617U,申请日期为20...

       金融界2025年3月20日消息,国家知识产权局信息显示,安徽光智科技有限公司取得一项名为“种用于制备多晶金刚石膜的沉积台”的专利,授权公告号 CN 222631617 U,申请日期为2024年3月。

       专利摘要显示,本申请公开了一种用于制备多晶金刚石膜的沉积台,化学气相沉积技术领域,包括沉积台本体;沉积台本体顶部设有供衬底置入的定位凹槽;凹槽底部边缘设有环形隔离凹槽;环形隔离凹槽用于将置入定位凹槽的衬底的边缘与沉积台本体隔离。其在沉积台本体顶部开设供衬底置入的定位凹槽,以实现对衬底的定位安装,再通过定位凹槽底部边缘的环形隔离凹槽,将置入的衬底的边缘与沉积台本体隔离开,避免衬底的边缘接触到沉积台本体。从而有效避免微波放电的“边沿效应”对衬底温度的影响,保证沉积台及衬底的边缘温度与中心温度差较小,达到了制备同一等级金刚石膜的温度要求。

       天眼查资料显示,安徽光智科技有限公司,成立于2018年,位于滁州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本90000万人民币,实缴资本90000万人民币。通过天眼查大数据分析,安徽光智科技有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目77次,财产线索方面有商标信息20条,专利信息767条,此外企业还拥有行政许可43个。


 

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