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中科磁控取得用于微波等离子体制备单晶金刚石的基片台专利

关键词 中科磁控 , 单晶金刚石 , 基片台 , 专利|2024-12-19 10:48:04|行业专利|来源 金融界
摘要 金融界2024年12月18日消息,国家知识产权局信息显示,中科磁控(北京)科技有限公司取得一项名为“一种用于微波等离子体制备单晶金刚石的基片台”的专利,授权公告号CN2221604...

       金融界2024年12月18日消息,国家知识产权局信息显示,中科磁控(北京)科技有限公司取得一项名为“一种用于微波等离子体制备单晶金刚石基片台”的专利,授权公告号 CN  222160468 U,申请日期为 2024 年 4 月。

       专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于微波等离子体制备单晶金刚石的基片台,涉及单晶金刚石制备技术领域,包括第一钼片以及第一钼环,第一钼片用于承载籽晶,第一钼环的底面上开设有第一凹槽,第一凹槽的内侧壁能够与第一钼片的外侧壁紧密贴合,第一凹槽的内顶面上开设有第一通孔;本实用新型公开的用于微波等离子体制备单晶金刚石的基片台 能够提升等离子体能量的利用率。


 

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