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申请号: 201720724618.1

申请日: 2017.06.20

申请人: 深圳先进技术研究院

发明人: 唐永炳; 王陶; 黄磊

       摘要： 

       本实用新型提供了一种表面具有高致密纳米金刚石薄膜的工件，包括工件基体和紧密结合在所述工件基体表面的高致密纳米金刚石薄膜，所述工件基体为硅基体、二氧化硅基体、碳化硅基体、氧化铜基体、氮化硅基体或硬质合金基体，所述金刚石薄膜的厚度为50‑150nm。本实用新型的表面具有高致密纳米金刚石薄膜的工件，其工件基体材质可选种类多，工件形状构造不限，且金刚石薄膜具有纳米级厚度，薄膜质量高，结合力强，推动了金刚石薄膜在纳米机电系统中的应用。 

       主权利要求:

       一种表面具有高致密纳米金刚石薄膜的工件，其特征在于，包括工件基体和紧密结合在所述工件基体表面的高致密纳米金刚石薄膜，所述工件基体为原子力显微分析仪探针，所述探针为硅材质探针或氮化硅材质探针，所述金刚石薄膜的厚度为50-150nm。