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金刚石真空钎焊炉抽气系统

关键词 金刚石 , 真空钎焊 , 抽气|2018-03-12 08:51:28|行业专利
摘要 申请号:201720764560.3申请日:2017.06.28申请人:南京威途真空技术有限公司发明人:杨立秋;徐松林摘要:本实用新型公开了一种金刚石真空钎焊炉抽气系统,包括机械泵...

申请号: 201720764560.3

申请日: 2017.06.28

申请人: 南京威途真空技术有限公司

发明人: 杨立秋; 徐松林

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       摘要: 

       本实用新型公开了一种金刚石真空钎焊抽气系统,包括机械泵、第一罗茨泵、第二罗茨泵、扩散泵、粗真空阀门、第一真空阀门和第二真空阀门;机械泵的进气口与第一罗茨泵的出气口连通,第一罗茨泵的进气口与第二罗茨泵的出气口连通,第二罗茨泵的进气口通过三通管分成两路:一路连接第一真空阀门的出气口,第一真空阀门的进气口与扩散泵的侧出气口连通,扩散泵的进气口与粗真空阀门的下出气口连通;另一路与第二真空阀门的出气口相通,第二真空阀门的进气口与粗真空阀门的侧出气口连通。本实用新型的有益效果是:本实用新型处理后的金刚石真空钎焊炉炉体内的真空度高,并且本实用新型的结构简单,占地面积小,占用的空间小。

       主权利要求:

       一种金刚石真空钎焊炉抽气系统,其特征在于:包括机械泵(1)、第一罗茨泵(2)、第二罗茨泵(3)、扩散泵(4)、粗真空阀门(5)、第一真空阀门(6)和第二真空阀门(7);所述的机械泵(1)的进气口通过管路与第一罗茨泵(2)的出气口连通,第一罗茨泵(2)的进气口通过管路与第二罗茨泵(3)的出气口连通,第二罗茨泵(3)的进气口通过三通管(8)分成两路:一路通过管路连接第一真空阀门(6)的出气口,第一真空阀门(6)的进气口通过管路与扩散泵(4)的侧出气口连通,扩散泵(4)的进气口与粗真空阀门(5)的下出气口连通;另一路与第二真空阀门(7)的出气口相通,第二真空阀门(7)的进气口通过管路与粗真空阀门(5)的侧出气口连通,所述的粗真空抽气阀门的进气口用于与金刚石真空钎焊炉的炉体连通。

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