您好 欢迎来到超硬材料网  | 免费注册
远发信息:磨料磨具行业的一站式媒体平台磨料磨具行业的一站式媒体平台
手机资讯手机资讯
官方微信官方微信

从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法

关键词 金刚石 , 线锯 , 多晶硅|2012-09-03 11:52:34|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要 名称从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法申请号201210127930申请日2012年4月27日公开号102642837A公

 

名称 金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法
申请号 201210127930 申请日 2012年4月27日
公开号 102642837A 公开日 2012年8月22日
申请人 河南新大新材料股份有限公司 地址 河南省开封市禹王台区开封市精细化工园区
发明人 罗小军 宋贺臣 姜维海 郝玉辉 主分类号 C01B 33/037
国家/省市 中国河南( 41 ) 分类号 C01B 33/037
摘要  本发明涉及一种回收金刚石线锯切割硅片废料浆中多晶硅的方法。主要包括以下步骤:将废料浆进行固液分离;在固体物中加入混合酸,反应10~12小时后脱酸,清洗至中性;以纯水造浆后用旋流器分离出大部分金刚石,压滤后得到含量为99%的硅料,再将其分散在重液中,离心分离后用纯水反复清洗;将清洗后的料浆通过大孔离子交换树脂装置去除离子,干燥得到99.99%的硅粉;硅粉压制成块后在多晶硅铸锭炉中铸锭,切除杂质,得到纯度为99.9999%的硅锭。本发明不同于传统多晶硅制备及回收技术,工艺简单、成本低廉,易于工业化生产。
独立权利要求 1.一种从金刚石线锯切割硅片废料浆中回收多晶硅的方法,包括以下步骤:(1)向待处理的金刚石线锯切割硅片废料浆中加入纯水调节料浆质量百分比浓度为10%~20%,然后置离心分离装置中进行离心分离,去除分离液,压滤得到硅含量≥90%的固体物料;(2)按照固体物料:混合酸=1:1~2的质量比向置于反应釜中的上述固体物料加入无机混合酸,调节搅拌转速为50~90r/min,反应温度控制为50~70℃,反应10~12小时后脱酸,以纯水清洗至中性后压滤,得滤饼;(3)取上步所得滤饼加纯水造浆,调节其料浆质量百分比浓度为2~5%,再以旋流分级装置分离出金刚石,压滤后得到硅含量≥99%的硅料;(4)将上述硅料均匀分散于比重为2.4~3.5g/cm3的重液中后,再以离心机对其进行离心分离,取上层硅料用纯水反复清洗去除重液后,压滤得滤饼;(5)对上步所得滤饼以纯水造浆,调节其料浆质量百分比浓度至1~3%后,通入大孔离子交换树脂装置去除离子,压滤后真空干燥得纯度≥99.99%的硅粉;(6)以等静压机将上步所得硅粉压制成块,然后在多晶硅铸锭炉中铸锭,并切除杂质,得到纯度≥99.9999%的硅锭。
 

① 凡本网注明"来源:超硬材料网"的所有作品,均为河南远发信息技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的,应在授权范围内使用,并注明"来源:超硬材料网"。违反上述声明者,本网将追究其相关法律责任。

② 凡本网注明"来源:XXX(非超硬材料网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的,请在30日内进行。

※ 联系电话:0371-67667020

延伸推荐

低热阻未来:室温键合多晶金刚石为GaN电子设备高效降...

在当今的电子设备领域,高功率、高频的半导体器件如GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)正变得越来越重要。它们被广泛应用于雷达系统、卫星通信、5G基站、可再...

日期 2025-07-25   超硬新闻

480万片金刚石半导体项目落地,12英寸产线加持!

近日,辽宁沈抚由氢基新能科技集团联合上海卓远方德半导体有限公司共同投资建设的“第四代半导体MPCVD金刚石材料及高端晶圆生产基地”项目正式破土动工。作为...

日期 2025-07-25   超硬新闻

CVD 金刚石薄膜与涂层:制备技术及关键领域应用

金刚石凭借超高硬度、高热导率、宽禁带等优异理化性质,在众多领域展现出广阔应用前景。化学气相沉积(CVD)作为制备金刚石薄膜与涂层的核心技术,已实现多领域突破。接下来将阐述CVD金刚...

日期 2025-07-24   超硬新闻

超万倍!金刚石又突破极限

窄线宽激光器在精密传感、光谱学和量子科学等广泛应用中至关重要。除了光谱宽度外,光谱形状也是一个重要因素,具体取决于应用场景。例如,激光线形两侧的功率可能...

日期 2025-07-24   超硬新闻

三安光电:氧化镓与金刚石研发全面启动

近日,三安光电(600703.SH)在互动平台披露,其旗下湖南三安已正式启动氧化镓(Ga₂O₃)、金刚石等第四代半导体材料的研发工作。这标志着公司在深耕...

日期 2025-07-23   超硬新闻

引领国际!我国牵头制定的首个纳米金刚石国际标准发布

近日,我国超硬材料企业——河南联合精密材料股份有限公司牵头制定的ISO国际标准《特殊用途功能性填料聚合物用纳米金刚石》(ISO6031:2025)正式发布。该标准的成功发布,标志着...

日期 2025-07-23   超硬新闻

国机精工:金刚石散热领域的商业化应用是公司重点发展的...

国机精工7月22日在互动平台回答投资者提问时表示,金刚石散热领域的商业化应用是公司重点发展的方向之一,包括金刚石散热片和金刚石铜等产品。公司看好包括散热、光学窗口等在内的金刚石功能...

日期 2025-07-23   企业新闻

总投资约30亿!又一MPCVD金刚石材料及高端晶圆项...

2025年7月18日,辽宁沈抚改革创新示范区迎来集成电路产业的重要进展。由氢基新能科技集团与主投方上海卓远方德半导体有限公司联合投资的“第四代半导体MP...

日期 2025-07-22   超硬新闻

华为再发金刚石散热领域新专利

随着微电子技术与功率电子技术的快速发展,芯片级和模块级的核心电子器件不断朝着体积更小、功能集成度高、功率密度高的方向发展,这导致电子器件的热流密度也越来...

日期 2025-07-22   超硬新闻

金刚石散热,华为重磅突破!

在先进制程趋于物理极限、芯片封装迈向三维集成的背景下,热管理已成为限制高性能计算系统性能释放的关键瓶颈。近年来,金刚石材料凭借其超高导热率、优异的电绝缘...

日期 2025-07-21   超硬新闻