PVD与CVD涂层工艺比较_技术

PVD与CVD涂层工艺比较

关键词 PVD , CVD , 涂层 , 原创|2011-04-12 10:56:12|技术信息|来源中国超硬材料网

摘要 PVD与CVD涂层工艺比较沉积温度涂层厚度涂层表面状态主要涂层材料涂层结合强度对环境影响主要应用领域

PVD与CVD 涂层工艺比较
	沉积温度	涂层厚度	涂层表面状态	主要涂层材料	涂层结合强度	对环境影响	主要应用领域
物理气相沉积	500℃或更低，沉积温度低刀具变型不，基体的硬度强度不降低。	2～5μm, 涂层较薄，刃口锋利。	涂层为压应力，有利于抑制裂缝的扩展；刃口可不作钝处理；表面致密，粗糙度低。	TiN TiCN TiA1N A1₂o₃ A1CrN MoS₂ WC/C 等。	低	无污染	1.高速钢通用刀具：钻头、丝锥、立铣刀。 2.高速钢精密复杂刀具：拉刀、齿轮刀具。 3.整体硬质合金刀具。 4.可转位螺纹刀片、切断、切槽刀片。
物理气相沉积	1000℃，沉积温度高，基体的硬度、强度降低，需开发专门的基体用于涂层。	5～20μm 或更厚，适合于开发多层厚膜涂层，高耐磨性。	涂层为拉应力，易生成裂缝；刃口必须作钝化处理；表面较粗糙。	TiN TiC TiCN A1₂o₃ ZrO₂ 金刚石等。	高	排出的废气对环境有污染。	1.硬质合金可转为刀片：车刀片、铣刀片等。 2.金刚石涂层。

① 凡本网注明"来源：超硬材料网"的所有作品，均为河南远发信息技术有限公司合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明"来源：超硬材料网"。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。

② 凡本网注明"来源：XXX（非超硬材料网）"的作品，均转载自其它媒体，转载目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。

③ 如因作品内容、版权和其它问题需要同本网联系的，请在30日内进行。

※ 联系电话：0371-67667020