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　　申请号：201320313241

　　申请人：中国工程物理研究院总体工程研究所四川中物超硬材料有限公司

　　摘要：本实用新型公开了微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，包括化学气相沉积反应室，该化学气相沉积反应室的上端设置有排气通道，同时在其下端还设置有进气装置，在化学气相沉积反应室的内部还设置有拉丝主体，该拉丝主体上还连接有电源；拉丝主体包括拉丝模、设置于拉丝模下端的耐高温支撑装置，在该拉丝模的上下两端与其相差3mm～5mm的位置还分别设置有上加热丝与下加热丝，上加热丝与下加热丝的两端分别连接有一号电极与二号电极。本实用新型提供一种微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，大大增长了模具的使用寿命、提高了尺寸精度以及线材或管材表面质量，能够使微小孔径拉丝模内孔表面金刚石涂层均匀，增强了涂层与基体结合能力，且涂层后的孔型圆整度较好。

　　独立权利要求：1.微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，包括化学气相沉积反应室（1），该化学气相沉积反应室（1）的上端设置有排气通道（2），同时在其下端还设置有进气装置，在化学气相沉积反应室（1）的内部还设置有拉丝主体（3），该拉丝主体（3）上还连接有电源。

　　2.根据权利要求1所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述进气装置包括气体分布器（4）以及通过输气管与其相连的混气室（6），在该混气室（6）上还设置有另外三根进气管（7），且三根进气管（7）的另一端分别连接有甲烷储气罐、氢气储气罐以及氩气储气罐。

　　3.根据权利要求2所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述进气管（7）上分别设置有气体流量计，该气体分布器（4）成漏斗状且开口朝上设置。

　　4.根据权利要求3所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述排气通道（2）的另一端设置有机械泵。

　　5.根据权利要求4所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述拉丝主体（3）包括拉丝模（9）、设置于拉丝模（9）下端的耐高温支撑装置（14），在该拉丝模（9）的上下两端与其相差3mm～5mm的位置还分别设置有上加热丝（10）与下加热丝（13），上加热丝（10）与下加热丝（13）的两端分别连接有一号电极（12）与二号电极（15）。

　　6.根据权利要求5所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述拉丝模（9）的数量至少为一个，且成阵列设置于耐高温支撑装置（14）上，该拉丝模（9）成圆柱状，在其内部设置有大口向下的漏斗状通孔，同时在该拉丝模（9）的非工作表面涂有用于绝缘的SiO2涂层。

　　7.根据权利要求6所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述一号电极（12）与二号电极（15）设置于拉丝模（9）轴向两端，且与拉丝模（9） 的轴线处于同一平面，且设置于一号电极（12）与二号电极（15）之间的上加热丝（10）的直径为0.15mm-0.30mm，同时下加热丝（13）的直径为0.30mm-0.60mm，且其材料为钨丝或钽丝。

　　8.根据权利要求7所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述一号电极（12）的两端还分别设置有一根耐高温弹簧（11），该耐高温弹簧（11）的材料为钨丝。

　　9.根据权利要求8所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述电源包括加热电源（5）与偏压电源（8），加热电源（5）的两极分别与上加热丝（10）以及下加热丝（13）的两端相连，偏压电源（8）的正极连接在耐高温支撑装置（14）上，且该偏压电源（8）的负极连接在加热丝上。

　　10.根据权利要求9所述的微小孔径金刚石涂层拉丝模装置，其特征在于，所述耐高温支撑装置（14）的材料为钨钼合金。