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　　申请号：201210560797

　　申请人：清华大学

　　摘要：本发明公开了属于表面超精研磨技术领域的一种油性金刚石研磨液及其制备方法，本研磨液含有以下组分：金刚石微粉、表面活性剂、分散剂、pH值调节剂、润湿剂和油，各组分的重量配比（wt.）为：金刚石微粉：0.001%-10%；表面活性剂：0.001%-20%；分散剂：0-20%；pH值调节剂：0-10%；润湿剂：0-10%；其余为油。主要应用于碳化硅晶片、LED蓝宝石衬底片、陶瓷、光纤、模具及半导体化合物晶片等表面的研磨抛光。使用本发明提供的研磨液可大大的提高抛光效率，分散性能好，可以长期保持均匀稳定状态，用其抛光后产品光洁度高，抛光效果好并且不含对人体有害成分，易于清洗，有利于环保。

　　独立权利要求：1.一种油性金刚石研磨液，其特征在于，该研磨液由金刚石微粉、表面活性剂、分散剂、pH值调节剂、润湿剂和油组成，各成分的重量百分含量为：金刚石微粉：0.001%-10%；表面活性剂：0.001%-20%；分散剂：0-20%；pH值调节剂：0-10%；润湿剂：0-10%；其余为油；其中，所述的表面活性剂为非离子表面活性剂、阴离子表面活性剂或阳离子表面活性剂中的一种或几种，所述的非离子表面活性剂为蓖麻油聚氧乙烯醚、月桂酸聚氧乙烯酯、油酸聚氧乙烯酯、硬脂酸聚氧乙烯酯、脂肪胺聚氧乙烯醚、嵌段聚氧乙烯-聚氧丙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基醇酰胺聚氧乙烷醚、烷基糖苷、椰子油脂肪酸单乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、乙二醇单硬脂酸酯、聚乙二醇双硬脂酸酯、甘油单硬脂酸酯、聚甘油单硬脂酸酯、蔗糖脂肪酸酯、失水山梨醇脂肪酸酯、聚氧乙烯失水山梨醇脂肪酸酯中的一种或几种；所述的阴离子表面活性剂为C12-16烷基苯磺酸钠、烷基萘磺酸盐、C12-16烷基磺酸钠、α-烯烃磺酸钠、木质素磺酸盐、石油磺酸盐、C12-16烷基硫酸盐、蓖麻油酸丁酯硫酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐、月桂酰氨乙基硫酸钠、油酰氨基酸钠、N-酰基氨基酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚羧酸盐中的一种或几种；所述的阳离子表面活性剂为咪唑啉、十二烷基三甲基氯化铵、十二烷基三甲基溴化铵、四甲基溴化铵、十二烷基三甲基硫酸铵中的一种或几种。