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郑州华晶金刚石股份有限公司

技术突破!单晶金刚石合成的逆袭之路

关键词 金刚石|2025-07-03 10:30:56|来源 DT半导体
摘要 在人工合成金刚石的历史长河中,单晶金刚石的成功制备无疑是最耀眼的里程碑之一。从被视作"难以企及的圣杯",到实现高品质、大尺寸的商业化生产,这背后是技术参数的精准...

       在人工合成金刚石的历史长河中,单晶金刚石的成功制备无疑是最耀眼的里程碑之一。从被视作 "难以企及的圣杯",到实现高品质、大尺寸的商业化生产,这背后是技术参数的精准突破、设备革新的持续推动,更是科研工作者突破思想禁锢的不懈探索。

       从多晶到单晶:材料性能的质的飞跃

       20 世纪以前,CVD 法合成的金刚石多局限于微米级多晶膜。美国 GE 公司曾将透明多晶 CVD 金刚石厚膜用作珠宝镀膜,但多晶结构存在的晶界缺陷,使其在光学、电学性能上难以满足高端领域需求。随着科技发展,无晶界制约的单晶金刚石逐渐进入视野 —— 它在苛刻条件探测器、高压高功率节能器件、微 / 纳机电系统、量子计算等领域展现出不可替代的优势。

       当时,高温高压法虽能合成单晶金刚石,却面临合成条件苛刻、产物杂质多、大尺寸制备困难等问题。这让科学家们将目光转向 CVD 法,荷兰科学家和美国 Crystallume 公司的早期尝试虽未成功,却为后续突破埋下伏笔,彼时宝石级金刚石(粒径大于 1mm)的合成还被视为遥不可及的目标。

       关键突破:参数优化与设备革新双驱动

       单晶金刚石的合成突破,始于对工艺参数的深刻认知。20 世纪 90 年代,研究者发现向反应气体中加入少量氮气,不仅能促进金刚石结构平滑生长,还能将生长速率提升数倍,这一发现为高速合成奠定了基础。

       设备层面的革新同样关键。早期微波等离子体 CVD 装置因工作压强低(1~5kPa)、等离子体功率密度小,无法满足高质量单晶外延生长需求。20 世纪末期出现的高气压微波等离子体 CVD 技术,将工作气压提升至 10kPa 以上,等离子体功率密度大幅上升,提供的极高原子氢浓度,为高质量、高速率生长单晶金刚石创造了条件。

       2002 年,美国华盛顿卡内基研究所的华裔学者颜志学和毛河光等人的研究具有里程碑意义。他们提高甲烷浓度至 12%,并添加 3% 氮气,使高品质单晶金刚石生长速率较初期提升两个数量级,证实了高速生长的可行性。2004 年,日本科学家沿用相同工艺参数获得成功,让微波等离子体技术成为单晶制备的主流。

       从实验室样品到产业落地

       技术突破迅速推动商业化。2003 年,美国阿波罗钻石公司限量发售人造宝石级金刚石,在行业掀起波澜;2005 年,卡内基研究所成功制备 10 克拉宝石级无色 CVD 单晶金刚石,标志着技术走向成熟。华盛顿金刚石公司借助相关技术实现量产,国外宝石级 CVD 单晶金刚石产业化进程加速。

       这些进展重塑了金刚石产业格局 —— 实验室培育的单晶金刚石在纯度、色泽上可与天然钻石媲美,且生长周期可控,打破了天然钻石的稀缺性神话,推动珠宝、电子等行业原料体系变革。

       中国力量:从跟跑到领跑的突围

       在国际技术竞争中,中国科研工作者面临 "瓦森纳协定" 的技术封锁,却走出了一条自主创新之路:

       2010 年,北京科技大学开发高功率直流电弧等离子体喷射 CVD 技术,成为微波技术之外的另一成熟路径,实现毫米级单晶金刚石制备;

       吉林大学团队在反应气体中添加氮气,实现同质外延单晶金刚石高速生长;

       2014 年,中国科学院宁波材料技术与工程研究所研发的微波等离子体 CVD 装置,通过创新工艺将成本降低 30%,可长时间生长高质量、大尺寸单晶金刚石片。

       企业的崛起更彰显 "中国速度":

       宁波晶钻实现高纯度、高质量、大尺寸单晶钻石批量生产,技术达世界领先水平;

       2020 年 3 月,杭州超然钻石科技有限公司的 CVD 金刚石成为当时世界最大高质量实验室生长金刚石,4 个月后这一纪录便被上海征世科技有限公司打破。

       最后

       单晶金刚石的合成史,可以说是一部思想解放史。从认为 CVD 法无法合成高品质单晶,到突破热力学认知局限,科研工作者用实验证明:在精准调控的条件下,金刚石可在亚稳区实现高速生长。原子氢的作用、氮气的调控机制、等离子体能量的精准控制,这些发现不断刷新着人类对材料生长规律的认知。

       如今,CVD 单晶金刚石正拓展至更广阔的应用场景,从第四代半导体到量子计算,从深空探测到高端医疗,它的每一步进阶都印证着一个真理:材料科学的突破,永远源于技术创新与思想革新的同频共振。那些在反应器中生长的晶体,不仅是碳原子的有序排列,更是人类探索物质世界边界的永恒见证。

 

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