一种高速气相生长金刚石的方法 _专利

一种高速气相生长金刚石的方法

关键词高速气相生长 , 金刚石|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种高速气相生长金刚石的方法公开号1159491公开日1997.09.17主分类号C30B25/00

名称	一种高速气相生长金刚石的方法
公开号	1159491	公开日	1997.09.17
主分类号	C30B25/00	分类号	C30B25/00;C30B29/04
申请号	96115136.6
分案原申请号		申请日	1996.03.07
颁证日		优先权
申请人	中国科学院金属研究所	地址	110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
发明人	闻立时; 黄荣芳; 于杰; 陈广超	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	中国科学院沈阳专利事务所	代理人	张晨
摘要	一种高速气相生长金刚石的方法，采用热丝化学气相沉积技术，其特征在于：反应全流程在封闭空间内进行，反应气均匀地通过反应区，气体质量流量通量为１００—２００SCCM/cm#+[2]，反应区温度保持在２０００—２６００℃，反应后气体及时排出。本发明可以在较大面积上，高速生长高质量金刚石。

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