一种低温镀复金刚石薄膜的方法及设备 _专利

一种低温镀复金刚石薄膜的方法及设备

关键词低温 , 复金刚石薄膜|2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称一种低温镀复金刚石薄膜的方法及设备公开号1138635公开日1996.12.25主分类号C23C16/26&nb

名称	一种低温镀复金刚石薄膜的方法及设备
公开号	1138635	公开日	1996.12.25
主分类号	C23C16/26	分类号	C23C16/26
申请号	95111077.2
分案原申请号		申请日	1995.06.16
颁证日		优先权
申请人	南京大学; 南京大学天地金钢石镀膜技术开发中心	地址	210093江苏省南京市汉口路22号
发明人	王志超	国际申请
国际公布		进入国家日期
专利代理机构	南京大学专利事务所	代理人	黄嘉栋
摘要	一种镀复金刚石薄膜的方法和设备，它是应用高频等离子体化学汽相沉积法以一氧化碳和氮气为气源，在衬底表面镀覆金刚石薄膜。用本发明的方法可以在室温至５００℃温度下镀覆金刚石薄膜，因而在塑料、钢、铁等衬底表面都能镀覆金刚石薄膜。本发明的镀覆设备价廉易行，可适用于不同大小和形状的工件。

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