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　　申请号：201510655728.2
　　申请人：郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
　　发明人：王沛 王志强

　　摘要：本发明公开了一种抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法，属于超精密抛光技术领域。该方法包括以下步骤：取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合，抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2～5:0.1～0.5，加入研磨缓冲剂，球磨，即可。球磨过程中陶瓷球主要赋予金刚石微粉作用力，使金刚石微粉与纳米金刚石团聚体发生碰撞、挤压，对团聚体表面进行小幅度研磨，并将团聚体上的突出部分(因团聚方式不同造成团聚形貌不规整)移除，使其形貌更接近球形，从而达到形貌修整目的。修整后再通过离心、过滤的方式将微米级金刚石与纳米级金刚石团聚体分离，得到可直接用于蓝宝石晶片抛光加工的纳米金刚石抛光液。

　　主权利要求：1.抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法，其特征在于：包括以下步骤：取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合，抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2～5:0.1～0.5，加入研磨缓冲剂，球磨，即可。
　　2.根据权利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述抛光液中纳米金刚石的 质量百分数为0.2％～2％，平均粒径30～300nm。 　　　　　　
　　3.根据权利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述金刚石微粉采用粒度 M5/10、M6/12、M8/16、M10/20、M15/25中的一种或多种。
　　4.根据权利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述陶瓷球采用氧化锆珠、 氧化硅珠、氮化硅珠、氧化铝珠中的一种或多种，粒径0.5～5mm。
　　5.根据权利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述研磨缓冲剂采用透平油、 变压器油、甘油、油酸、白油、聚乙二醇200、聚乙二醇600中的一种或多种，研磨缓冲 剂的加量为纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球三者总质量的2％～8％。
　　6.根据权利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述球磨时间为10～100min。
　　7.根据权利要求1所述的形貌修整方法，其特征在于：所述球磨完毕从球磨混合物 中取出陶瓷球，剩余部分离心取上层液，过滤，得滤液。
　　8.根据权利要求7所述的形貌修整方法，其特征在于：所述离心为在转速 5000～10000r/min下离心5～10min。
　　9.根据权利要求7所述的形貌修整方法，其特征在于：所述过滤采用的滤网孔径为 0.3～1μm。