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专利:LED行业用超精细清洗抛光液

关键词 LED , 抛光液|2014-04-04 09:07:10|行业专利|来源 中国超硬材料网
摘要   申请号:201310538875  申请人:昆山宏凌电子有限公司  摘要:一种LED行业用超精细清洗抛光液:10-15%椰子油酰二乙醇胺;金刚石颗粒,且所述金刚石颗粒为50~6...

  申请号:201310538875

  申请人:昆山宏凌电子有限公司

  摘要:一种LED行业用超精细清洗抛光液:10-15%椰子油酰二乙醇胺;金刚石颗粒,且所述金刚石颗粒为50~60nm;Fe<20ppm,且Zn<0.01ppm;且所述抛光液的密度为1.2kg/m3,pH值为11~12,固体含量30%,其能够抛光LED的衬底,且抛光效率高。

  独立权利要求:1.一种LED行业用超精细清洗抛光液,其含有:10-15%椰子油酰二乙醇胺;金刚石颗粒,且所述金刚石颗粒为50~60nm;Fe<20ppm,且Zn<0.01ppm;且所述抛光液的密度为1.2kg/m3,pH值为11~12,固体含量30%。

  2.如权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述金刚石颗粒为聚多晶纳米金刚石颗粒。

  3.如权利要求1所述的抛光液,其特征在于:通过NaOH调整所述抛光液的pH值为11。

  4.如权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述抛光液被用于抛光LED的蓝宝石衬底。

  5.如权利要求1所述的抛光液,其特征在于:所述抛光液中还具有1%的缓蚀剂。

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