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影响CVD金刚石薄膜工具质量的因素

1.引言金刚石具有优异的物理、化学性质,在自然界所有物质中具有最高的硬度、室温下有最高的热导率,同时具有极低的热膨胀系数、低摩擦系数、良好的化学稳定性、大的禁带宽度(5...

日期 2012-09-01   
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