在颗粒上包覆金刚石样碳的方法与设备 _专利

在颗粒上包覆金刚石样碳的方法与设备

关键词包覆 , 金刚石 , 样碳 , 方法 , 设备 |2010-12-10 00:00:00|行业专利|来源中国超硬材料网

摘要名称在颗粒上包覆金刚石样碳的方法与设备公开号1279729公开日2001.01.10主分类号C23C16/44&nb

名称	在颗粒上包覆金刚石样碳的方法与设备
公开号	1279729	公开日	2001.01.10
主分类号	C23C16/44	分类号	C23C16/44
申请号	98811433.X
分案原申请号		申请日	1998.10.07
颁证日		优先权	1997.11.26 US 08/979,072
申请人	美国3M公司	地址	美国明尼苏达州
发明人	M·M·戴维	国际申请	PCT.US98/21111 1998.10.7
国际公布	WO99.27157 英 1999.6.3	进入国家日期	2000.05.22
专利代理机构	上海专利商标事务所	代理人	余颖
摘要	本发明涉及一种金刚石样碳包覆颗粒的制备方法，所述金刚石样覆层可以包含其他组分。所述方法包括：在真空射频电源电容耦合反应器系统内令众多颗粒与碳等离子体接触，在所述系统内，在电极周围形成离子鞘，搅拌颗粒的方式使它们的表面与等离子体内的反应性物质接触，同时颗粒基本上处于离子鞘内。本发明的优点在于：（i）以高沉积率在颗粒上有效沉积DLC，（ii）沉积致密的 DLC覆层；（iii）能够在DLC沉积前用含氧和含氩等离子体通过离子轰击原位进行颗粒的表面清洁；和（iv）能够在包覆过程中通过调整覆层的组成和离子轰击的密度改变覆层的整体和表面性能。

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