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晶驰机电申请防气流冲击的大尺寸金刚石生长MPCVD装置专利,避免气流冲击金刚石衬底提高均匀性

关键词 晶驰机电 , MPCVD装置专利|2025-05-08 10:19:22|行业专利|来源 金融界
摘要 金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,杭州晶驰机电科技有限公司申请一项名为“一种防气流冲击的大尺寸金刚石生长MPCVD装置及其工作方法”的专利,公开号CN11990...

       金融界2025年5月2日消息,国家知识产权局信息显示,杭州晶驰机电科技有限公司申请一项名为“一种防气流冲击的大尺寸金刚石生长MPCVD装置及其工作方法”的专利,公开号CN119900076A,申请日期为2024年9月。

       专利摘要显示,本发明涉及一种防气流冲击的大尺寸金刚石生长MPCVD装置及其工作方法,它属于金刚石制备相关领域。本发明包括反应腔、外环冷却腔、内环匀气腔、工艺气体缓冲腔、工艺气体进入系统,外环冷却腔设置在反应腔的腔体外环顶部,外环冷却腔上方与工艺气体缓冲腔连接,内环匀气腔设置在反应腔的腔体中心顶部,内环匀气腔将反应腔与工艺气体缓冲腔隔离,工艺气体缓冲腔顶部的腔体上密封盖两侧对称设置工艺气体进入系统。本发明还提供了一种防气流冲击的大尺寸金刚石生长MPCVD装置的工作方法。本发明结构设计合理,安全可靠,采用下进微波形式时,气流自腔体上方进入后,避免了气流冲击金刚石衬底,提高金刚石均匀性,满足使用需求。

       天眼查资料显示,杭州晶驰机电科技有限公司,成立于2021年,位于杭州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本792.39万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州晶驰机电科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目9次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息12条。


 

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